哈尔滨意优普科技有限公司

哈尔滨意优普科技有限公司成立于2025年，团队负责人为航天学院赵永蓬教授。公司主营产品为放电等离子体极紫外光刻光源。

目前实现极紫外光刻光源的方案主要有激光打靶等离子体光源（LPP）和放电等离子体光源（DPP）两种。与LPP光源相比，DPP极紫外光源具有能量转换效率高、造价相对较低、体积相对较小、技术难度相对较低等优势。因此放电等离子体光源具有极高的研究价值，不仅可用于极紫外光刻机光学元件的检测和整机原理验证，还可以用于光刻中掩模版的检测等。